Technische Universität Ilmenau

Bezeichnung des Vorhabens
2018 FGI 0014
Zusammenfassung des Vorhabens
Laserdirektbelichtungssystem: Laser Lithographie System zum Direktbelichten von Photoresisten
Beginn des Vorhabens
01.01.2019
Ende des Vorhabens
30.06.2021
Gesamtbetrag der förderfähigen Ausgaben des Vorhabens
469.331,29
Unions-Kofinanzierungssatz pro Prioritätsachse
80 %
Postleitzahl des Vorhabens
98693
Land
Deutschland
Bezeichnung der Interventionskategorie
058 - Forschungs- und Innovationsinfrastruktur (öffentlich)